激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器定義及其原理

1、氣體工業(yè)名詞術(shù)語粒子計(jì)數(shù)可采用激光粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核粒子計(jì)數(shù)器。He2Ne激光粒子計(jì)數(shù)器，可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質(zhì)；Ar2Kr激光粒子計(jì)數(shù)器可分析0105μm粒徑顆粒雜質(zhì)，目前已有可檢測超高純氣中01005μm的粒子計(jì)數(shù)器。光電塵粒計(jì)數(shù)器是一種利用光的散射原理進(jìn)行塵粒計(jì)數(shù)的儀器。一定流量的含塵氣體通過一束強(qiáng)光，使粒子發(fā)射出散射光，經(jīng)過聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變?yōu)殡娒}沖，由脈沖數(shù)求得顆粒數(shù)。根據(jù)粒子散射光的強(qiáng)度與粒徑的函數(shù)關(guān)系得出粒子直徑。粒子計(jì)數(shù)器是高純或超高純供氣系統(tǒng)中必*儀器。價(jià)格較昂貴。

2、激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的工作原理激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器基本原理是光學(xué)傳感器的探測激光經(jīng)塵埃粒子散射后被光敏元件接收并產(chǎn)生脈沖信號，該脈沖信號被輸出并放大，然后進(jìn)行數(shù)字信號處理，通過與標(biāo)準(zhǔn)粒子信號進(jìn)行比較，將對比結(jié)果用不同的參數(shù)表示出來?？諝庵械奈⒘Ｔ诠獾恼丈湎聲l(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強(qiáng)度和微粒大小而言，有一個(gè)基本規(guī)律，就是微粒散射光的強(qiáng)度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強(qiáng)度就可推知微粒的大小，實(shí)際上，每個(gè)粒子產(chǎn)生的散射光強(qiáng)度很弱，是一個(gè)很小的光脈沖，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號幅度較大的電脈沖，然后再經(jīng)過電子線路的進(jìn)一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計(jì)數(shù)工作。此時(shí)，電脈沖數(shù)量對應(yīng)于微粒的個(gè)數(shù)，電脈沖的幅度對應(yīng)于微粒的大小。這就是光散射式激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的基本工作原理。